真空装置・蒸着材料と消耗品

真空技術 ― ものづくりを支えるマザーテクノロジー
真空装置のトータルプランナー アールエムテック

イオンガン

  1. イオンビームソース KRI社
    Dr. Kaufman開発の米国KRI社製イオンビームソースの販売、及び取り付けを行います。
  2. ガスクラスターイオンビーム発生源
    ガスクラスターは数百〜数千個のガス原子がゆるく結合した塊で、細いスロートを持つノズルから噴出させる事により生成されます。

真空関連機器

  1. イオンビームエッチング/ミリング装置
    DCまたはRFイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング/ミリング装置です。
  2. イオンビームスパッタ装置
    RFイオンソースを使用し、シングルステージ又はプラネタリーステージを搭載したイオンビームスパッタリング(IBS)装置です。
  3. ガスクラスターイオンビーム(GCIB)応用装置
    表面粗さの小さいスパッター加工、ナノメートルレベルの高速加工、表面改質 高品質膜形成が可能なガスクラスターイオンビーム(GCIB)装置です。
  4. 省電力ユニット DP-eco
    油拡散ポンプの電気代を削減する、環境に優しい省電力ユニットです。

真空装置用冷凍機

  1. 真空装置用冷凍機/Supcold社 Coolteq(クールテック)
    2020年規制対象外の冷媒ガス(HFC冷媒)を使用した真空装置用冷凍機です。

蒸着材料・消耗品

  1. 蒸着材料と消耗品
    フィルム成膜用の蒸着材料各種、スパッタ用ターゲット各種、真空ポンプオイル、フィルター等の消耗品も幅広く取り扱っています。