ガスクラスターイオンビーム(GCIB)応用装置

ガスクラスターとは
ガスクラスターは数百〜数千個のガス原子が、ゆるく結合した塊で、細いスロートを持つノズルから噴出させる事により生成されます。

装置概要
  • GCIB(ガスクラスターイオンビームソース)を使用し、その特性を生かす為に最適な装置を提案いたします。
    試料サイズ、試料重量、回転機構、可変傾斜角度など、ご要望により設計、製造致します。
GCIB装置の一例(上の写真)
  • チャンバー内寸
    • 約1200W x 990D x 900H
  • 排気系
    • TMP 2台
    • 到達真空度 1e-4Pa以下
    • 排気速度 5e-4Pa 迄3時間以内
  • ステージ
    • 5軸まで対応可能 (X,Y,Z,θ,自転)
    • 8”ウェハ搭載
    • 基板重量 最大10kg
  • ファラデーカップ
  • 基板シャッター
GCIBソース

GCIBソース

GCIBソース(モノマーイオン除去機能付き)

GCIBソース(モノマーイオン除去機能付き)