ガスクラスターイオンビーム（GCIB）応用装置

ガスクラスターとは
ガスクラスターは数百〜数千個のガス原子が、ゆるく結合した塊で、細いスロートを持つノズルから噴出させる事により生成されます。

装置概要

• GCIB（ガスクラスターイオンビームソース）を使用し、その特性を生かす為に最適な装置を提案いたします。
  試料サイズ、試料重量、回転機構、可変傾斜角度など、ご要望により設計、製造致します。

GCIB装置の一例（上の写真）

• チャンバー内寸
  • 約1200W x 990D x 900H
• 排気系
  • TMP 2台
  • 到達真空度 1e-4Pa以下
  • 排気速度 5e-4Pa 迄3時間以内
• ステージ
  • 5軸まで対応可能 (X,Y,Z,θ,自転)
  • 8”ウェハ搭載
  • 基板重量　最大10kg
• ファラデーカップ
• 基板シャッター