ガスクラスターイオンビーム発生源

ガスクラスターは数百〜数千個のガス原子がゆるく結合した塊で、細いスロートを持つノズルから噴出させる事により生成されます。

ガスクラスターイオンビーム(GCIB)発生源の特徴
  • 数1000〜数10000の原子集団からなるクラスターイオンを発生
  • 表面粗さの小さいスパッター加工や極浅接合の不純物イオン導入が可能
  • 表面ダメージの小さいナノメートルレベルの高速加工(平坦化加工等)が実現
  • 超低エネルギー照射効果 数eV/atom
  • ラテラルスパッタ効果 超平坦化加工、無損傷加工
  • 超高密度照射効果 表面改質 高品質膜形成
GCIBソース

GCIBソース

GCIBソース(モノマーイオン除去機能付き)

GCIBソース(モノマーイオン除去機能付き)