イオンビームエッチング対応光学式エンドポイントディテクタ

Verity社のイオンビームエッチング対応エンドポイントディテクタ

分光計がイオンビームエッチングの終点検出を実現しました。

対応モデル : SD1024GH、 SD2048GH

  • SD1024Gシリーズには装置制御用のPCが必要ですが、制御用のOSを内蔵したSD1024Xシリーズ(SD1024XH/SD2048XH)もございます。

EP Designer 複合波長アルゴリズム

時間枠内の複合波長から膜種が想定可能なライブラリを搭載

イオンビームエッチングデータ

  • EPD可能なSNレベルに躍進
  • 安価なメンテナンスコスト
  • 検出器劣化ほぼ無し
  • Off line reprocessで簡単条件選定
  • 省スペース;さらにXHモデル

SD1024シリーズ エンドポイントディテクタ

光学式エンドポイントシステム Spectrograph SD1024シリーズは、エッチングプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。
また、付属のSpectraView™ソフトウェアで採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。
Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、EP DesignerやNeural Networkを用いたエンドポイント検出アルゴリズムなど、優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。
SpectraView™では、RS232C/Digital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応しており、ニーズに合った通信プロトコルを提供します。

ハードウェア仕様

Gシリーズ(Windows PCコントロール)

タイプ SD1024G/GH SD2048GH
CCD仕様 74mm²
裏面入力型冷却タイプ
分解能 < 1.87nm < 1.0nm
最小露光時間 (standard A/D) 13ms 7ms
波長範囲 200 ~ 800nmor 200 ~ 900nm
サイズ (mm) H 142 × W 137.2 × L 259
重さ 3kg
ファイバー Verity社特注
入力ch数 最大 8 fiber
I/F USB or Ethernet
電源仕様 20 – 28 VDC、45W

Xシリーズ(PC内蔵型)

タイプ SD1024X/XH SD2048XH
CCD仕様 74mm²
裏面入力型冷却タイプ
分解能 < 1.87nm < 1.0nm
最小露光時間 (standard A/D) 13ms 7ms
波長範囲 200 ~ 800nm or 200 ~ 900nm
サイズ (mm) H 142 × W 137.2 × L 259
重さ 3.4kg
ファイバー Verity社特注
入力ch数 最大 8 fiber
I/F USB or Ethernet
 電源仕様 20 – 28 VDC、45W

システム構成

SD1024GHシステム