イオンビームソース KRI社

Dr. Kaufman開発の米国KRI社製イオンビームソースの販売、及び取り付けを行います。

イオンビームソースはクリーニング、トリミング、スパッタ、エッチング等、幅広く適応いたします。

エンドホールタイプ

低エネルギー、高電流密度によりダメージの少ないエッチング、クリーニング、イオンアシスト蒸着が可能です。

グリッドタイプ

スパッタ用として欠陥の少ない高品質光学膜成膜用、ミリング用として磁性材料、金属膜などのエッチング用。

これらイオンビームソースを使用したスパッタ装置、エッチング/ミリング装置をお客様の仕様で設計、製造致します。