・KRI社 イオンソース
・ガスクラスターイオンビーム発生源

・イオンビームエッチング（IBE）／ミリング装置
・イオンビームスパッタ（IBS）装置
・ガスクラスターイオンビーム（GCIB）装置
・省電力ユニット

2020年フロン規制対策はお済ですか？
規制対象の特定フロン（HCFC冷媒ガス）を使用しない真空装置用冷凍機です。

フィルム成膜用の蒸着材料・スパッタ用ターゲット各種・真空ポンプオイルやフィルターなどの消耗品

真空機器のプロフェッショナルとして、徹底したヒアリングでベストな真空機器をご提案します。

『お客様の生産ラインを絶対に止めない』を大命題に、データベースを活かした迅速・確実なメンテナンスを行います。

製品の漏れ試験方法に関してコンサルティングいたします。

米国で50年以上の経験を持つLACO Technologies社と業務提携し、幅広い種類の基準校正リークをご提案いたします。