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油拡散真空ポンプ:ESV Series (small model)
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超高真空領域から高・中・真空領域まで安定した圧力を得るためにESV-6以下は環状ヒータ、ESV-8以上は内熱式シーズヒータを採用し、超高真空下の油の突沸による圧力揺動を防いでいます。
(排気速度:380~4,500L/s)
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超高真空領域から高・中・真空領域まで安定した圧力を得るためにESV-6以下は環状ヒータ、ESV-8以上は内熱式シーズヒータを採用し、超高真空下の油の突沸による圧力揺動を防いでいます。
(排気速度:380~4,500L/s)