スクリュー式ドライ真空ポンプ：MDP/MDP-Vシリーズ(省エネ仕様）
世界で認められたMDPシリーズに 待望の『V』シリーズが加わりました。 MDPシリーズの高耐久性に、省エネ性能を向上させ ランニングコストを大幅にダウンする事が可能です。
(5,500~27,000L/m)
スクリュー式ドライ真空ポンプ：BEHシリーズ
マイコン制御により運転状態を精密に制御する事が可能。低速回転で高性能を発揮するCVD・PVD・エッチング・スパッタリングプロセス等あらゆるプロセス用に最適です。
（排気速度：5,000~60,000L/m）